半導(dǎo)體制造流程復(fù)雜，涉及大量電子化學(xué)品和特殊氣體，產(chǎn)生的廢氣成分復(fù)雜、危害性強(qiáng)，若處理不當(dāng)將直接影響晶圓生產(chǎn)的良率與產(chǎn)線穩(wěn)定。面對(duì)這一行業(yè)難題，上海盛劍科技股份有限公司與上海交通大學(xué)緊密合作，正通過持續(xù)的科技創(chuàng)新，為半導(dǎo)體行業(yè)提供綠色解決方案。

談到初始，企業(yè)創(chuàng)始人張偉明、汪哲在交大安泰經(jīng)濟(jì)與管理學(xué)院EMBA學(xué)習(xí)期間，系統(tǒng)構(gòu)建了商業(yè)思維與資本運(yùn)作能力，為企業(yè)發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。這份聯(lián)結(jié)並未止步於課堂，而是延伸至持續(xù)的技術(shù)探索：盛劍科技與交大機(jī)械與動(dòng)力工程學(xué)院、集成電路學(xué)院等開展聯(lián)合課題研究，以企業(yè)實(shí)際場(chǎng)景助力技術(shù)驗(yàn)証與轉(zhuǎn)化。

針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的特性，通過校企合作研發(fā)，盛劍科技開發(fā)了一系列高性能裝備。自研的溫控設(shè)備能對(duì)反應(yīng)腔進(jìn)行精準(zhǔn)的溫度控制，滿足不同工藝流程溫度的快速變換需求。真空設(shè)備將工藝廢氣抽離反應(yīng)腔，產(chǎn)生、維持、控制滿足工藝反應(yīng)腔要求的真空環(huán)境。Local Scrubber設(shè)備對(duì)廢氣進(jìn)行預(yù)處理后，通過通風(fēng)管道系統(tǒng)將其輸送至中央廢氣處理系統(tǒng)，集中處理后進(jìn)行無害排放。

這種產(chǎn)教融合的模式也延伸至人才培養(yǎng)領(lǐng)域。盛劍科技積極參與上海市“陽光育人”計(jì)劃，設(shè)立獎(jiǎng)學(xué)金和專項(xiàng)基金，關(guān)注湖北籍本科生和少數(shù)民族學(xué)生成長(zhǎng)與發(fā)展。此外，盛劍科技新加坡總部與安泰亞太中心緊密合作，將海外實(shí)戰(zhàn)場(chǎng)景融入教學(xué)，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)教融合共同發(fā)展。

“綠色發(fā)展是高質(zhì)量發(fā)展的底色，新質(zhì)生產(chǎn)力本身就是綠色生產(chǎn)力?！逼髽I(yè)相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，當(dāng)前，半導(dǎo)體行業(yè)存在高污染、高排放、高耗能等現(xiàn)象，綠色轉(zhuǎn)型勢(shì)在必行。同時(shí)，未來也將持續(xù)深化與交大安泰等高校的產(chǎn)學(xué)研合作，通過產(chǎn)品硬實(shí)力、戰(zhàn)略軟實(shí)力雙管齊下，踐行以綠色科技助力產(chǎn)業(yè)綠色發(fā)展的企業(yè)使命。（梁濟(jì)舟）

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